現(xiàn)如今，國內外制備的高純氫氟酸經(jīng)常用提純技術：蒸餾，精餾，亞沸蒸餾，氣體吸收等技術，這樣的提純技術是各有各的特點，各有所長。

一些提純技術比如亞沸蒸餾技術只是用于制備量比較少的產(chǎn)品。但是一些提純技術比如氣體吸收技術是可以使用在大規(guī)模的生產(chǎn)。因此選擇工藝技術路線的時候要按照實際的情況來定。

另外，由于氫氟酸具有強腐蝕性，采用蒸餾工藝時所使用的蒸餾設備一般需用鉑、金、銀等貴金屬或聚四氟乙烯等抗腐蝕性能力較強的材料來制造。

高純氫氟酸生產(chǎn)裝置流程布置要以垂直流向為主，原料無水氫氟酸和高純水在上層，氫氟酸的提純在中層，過濾、包裝及儲存在底層。因為原料（無水氫氟酸和高純水）與中間產(chǎn)物可以依靠重力自上而下流動，避免用泵輸送，節(jié)省能耗，降低生產(chǎn)成本。下面介紹一種精餾、吸收相結合的生產(chǎn)高純氫氟酸的生產(chǎn)工藝。

將無水氫氟酸經(jīng)過化學預處理后通過給料泵進入高位槽，再通過流量計控制進入精餾塔，通過精餾操作得到精制后的氟化氫氣體，并將其送入吸收塔，精餾塔殘液定期排放并制成工業(yè)級氫氟酸。

在吸收塔內部，通過加入經(jīng)過計量之后的高純水，是的精餾之后的氟化氫氣所形成的高淳氫氟酸，并且是可以采用控制噴淋的密度，氣液比等方法使得高氫氟酸進一步的純化，因此得到粗產(chǎn)品，之后經(jīng)過潔凈過濾工序，使得產(chǎn)品進一步的混合以及得到的過濾，也可以保證產(chǎn)品的顆粒合格。